[发明专利]一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法在审
| 申请号： | 201811204231.9 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109188252A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 潘永吉 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法，属于失效分析技术领域，包括：提供一具有承载平台的加热装置、一温度监测装置、一电压激励源以及一检测组件，将测试样品放置于承载平台上，并将电压激励源连接测试样品；通过加热装置将测试样品加热到预定温度，温度监测装置提供给测试者监测测试样品的实时温度，在实时温度到达预定温度时通过电压激励源向测试样品施加预定数值的电压激励，通过检测组件进行基于光发射显微分析技术的检测操作得到失效点的定位信息。本发明的有益效果：定位处于高温状态下的测试样品的漏电失效点，以找到失效原因，提升经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 测试样品 电压激励 失效点 显微分析 光发射 温度监测装置 承载平台 加热装置 检测组件 测试样品放置 漏电 定位信息 高温状态 检测操作 失效分析 失效原因 源连接 加热 施加 测试 监测 | ||
【主权项】：
1.一种基于高温光发射显微分析技术的失效点定位方法，其特征在于，用于对测试样品在高温环境下的失效点进行定位，以得到失效点的定位信息；所述实现方法包括：步骤S1、提供一具有承载平台的加热装置、一温度监测装置、一电压激励源以及一检测组件，将测试样品放置于所述承载平台上，并将所述电压激励源连接所述测试样品；步骤S2、通过所述加热装置将所述测试样品加热到预定温度，所述温度监测装置提供给测试者监测所述测试样品的实时温度，在所述实时温度到达所述预定温度时通过所述电压激励源向所述测试样品施加预定数值的电压激励，通过所述检测组件进行基于光发射显微分析技术的检测操作得到所述失效点的所述定位信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811204231.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种故障限流器试验电路和控制方法
- 下一篇：检测方法及检测系统
