[发明专利]一种硅材料高效提纯方法及装置有效
申请号: | 201811202907.0 | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN108946739B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 侯雨新;庞大宇;张磊;孙雨萱;唐子凡 | 申请(专利权)人: | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 于超 |
地址: | 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及太阳能级多晶硅制造领域,尤其涉及一种硅材料高效提纯方法及装置。本发明的装置具有熔炼坩埚;熔炼坩埚的浇铸口设有内壁低外壁高的倾角;在炉体上设有旋转观察窗;使用时独立能量模块能量值为占电子束总功率比例10%‑20%,独立能量模块照射硅原料堆积的位置和浇铸口。本发明通过对电子束熔炼多晶硅过程中,电子束扫描模式的控制,提取出单独的能量模块,可对特定区域进行特定照射,提高电子束熔炼效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 材料 高效 提纯 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种硅材料高效提纯的装置,其特征在于:具有熔炼坩埚;熔炼坩埚的浇铸口设有内壁低外壁高的倾角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛蓝光晶科新材料有限公司,未经青岛蓝光晶科新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811202907.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。