[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201811201520.3 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109693036B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 波多野雄二;名雪正寿;能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/122 | 分类号： | B23K26/122;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供激光加工装置，在对板状的被加工物照射激光光线而进行加工时不妨碍对被加工物照射激光光线。配设在激光加工装置的保持单元(30)的上部的液体提供机构(40)包含：液体腔室(41)，其具有圆板状的透明板(42)，该透明板被定位成与保持工作台(32)所保持的被加工物(10)的上表面之间形成间隙(S)；液体提供喷嘴(43)，其从液体腔室的一方对间隙提供液体(W)；液体排出喷嘴(44)，其将液体从液体腔室的另一方排出；以及旋转机构(M)，其使圆板状的透明板旋转，使提供到间隙的液体产生流速。激光光线照射单元(6)包含：激光振荡器(82)，其射出激光光线(LB)；和聚光器(86)，其对激光光线进行会聚并透过透明板和提供到间隙的液体而对保持工作台所保持的被加工物进行照射。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其具有：保持单元，其具有对板状的被加工物进行保持的保持工作台；激光光线照射单元，其对该保持工作台所保持的被加工物照射激光光线而实施加工；以及液体提供机构，其配设在该保持单元的上部，该液体提供机构包含：液体腔室，其具有圆板状的透明板，该透明板被定位成与该保持工作台所保持的被加工物的上表面之间形成间隙；液体提供喷嘴，其从该液体腔室的一方对该间隙提供液体；液体排出喷嘴，其将液体从该液体腔室的另一方排出；以及旋转机构，其使该圆板状的透明板旋转，使提供到该间隙的液体产生流速，该激光光线照射单元包含：激光振荡器，其射出激光光线；以及聚光器，其对从该激光振荡器射出的激光光线进行会聚，并且透过该透明板和提供到该间隙的液体而对该保持工作台所保持的被加工物进行照射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811201520.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
