[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 201811189485.8 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109719617B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技;林钟逸 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/27;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置，其包括：研磨垫，用于研磨基板的研磨层；承载头，具备与基板的上表面接触的隔膜，将基板压靠在研磨垫上。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其中，包括：研磨垫，用于研磨基板的研磨层；承载头，具备与所述基板的上表面接触的隔膜，将所述基板压靠在所述研磨垫上；温度测量部，用于测量所述隔膜的温度信息；控制部，基于所述隔膜的所述温度信息，控制所述基板的研磨结束时间点。
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