[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，在对板状的被加工物照射激光光线而进行加工时不会妨碍对被加工物照射激光光线。激光加工装置的激光光线照射单元(8)包含：激光振荡器(82)，其射出激光光线(LB)；聚光器(86)，其对从激光振荡器射出的激光光线进行会聚并向保持于保持单元(22)的被加工物(10)进行照射；以及液体喷射器(40)，其配设在聚光器的下端部，向被加工物的上表面喷射液体(W)。液体喷射器包含：透明板(423)，其配设在聚光器的下端部，允许激光光线通过；壳体(42)，其具有由顶壁、侧壁(422b)和底壁(422c)构成的空间(422a)，该顶壁由该透明板构成；开口(422d)，其形成于底壁，沿加工进给方向延伸，允许聚光器所会聚的激光光线通过；以及液体提供部(43)，其向壳体提供液体(W)。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有：保持单元，其对板状的被加工物进行保持；激光光线照射单元，其对保持于该保持单元的被加工物照射激光光线而实施加工；以及加工进给单元，其将该保持单元和该激光光线照射单元相对地进行加工进给，该激光光线照射单元包含：激光振荡器，其射出激光光线；聚光器，其对从该激光振荡器射出的激光光线进行会聚并向保持于该保持单元的被加工物进行照射；以及液体喷射器，其配设在该聚光器的下端部，向被加工物的上表面喷射液体，该液体喷射器包含：透明板，其配设在该聚光器的下端部，允许激光光线通过；壳体，其具有由顶壁、侧壁和底壁构成的空间，该顶壁由该透明板构成；开口，其形成于该底壁，沿加工进给方向延伸，允许聚光器所会聚的激光光线通过；以及液体提供部，其向该壳体提供液体，该激光加工装置从形成于该底壁的开口向被加工物喷射液体并且向被加工物照射激光光线。