[发明专利]一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法

摘要

本发明公开一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法，S1：在硅片镀背面钝化膜的工序中，于硅片背面依次镀Al₂O₃膜、SiO₂膜和SiN_x膜，形成背面钝化膜，同时，在硅片正面边沿形成绕镀膜；S2：在由步骤S1所得产品的背面钝化膜表面上制作水膜；S3：使由步骤S2所得产品通过HF/HCl槽，去除绕镀膜；S4：使由步骤S3所得产品通过水槽，去除残余药液；S5：干燥由步骤S4所得产品。本发明改善了管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀现象，改善了电池的外观，提高了光电转换效率。在常规背面钝化膜Al₂O₃/SiNx之间增设SiO₂膜，提高了水膜的亲水性，有利于去除绕镀膜和保护背钝化膜不被气相侵蚀。

主权项

1.一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法，其特征在于具体包括以下步骤：S1：在硅片镀背面钝化膜的工序中，于硅片背面依次镀Al2O3膜、SiO2膜和SiNx膜，形成背面钝化膜，同时，在硅片正面边沿形成绕镀膜；S2：在由步骤S1所得产品的背面钝化膜表面上制作水膜；S3：使由步骤S2所得的产品通过HF/HCl槽，去除绕镀膜；S4：使由步骤S3所得的产品通过水槽，去除残余药液；S5：干燥由步骤S4所得的产品，即成。