[发明专利]一种投影式光源装置

摘要

本发明提供了一种投影式光源装置，包括依次设置的灯珠光源、光线收集系统、均光系统和成像系统；所述光线收集系统包括两个对称设置的的平凸透镜，两个所述平凸透镜的平面镜片朝外，凸面镜片相对设置；所述均光系统为一根截面为矩形的石英长方体方棒，所述方棒的入光面镶嵌在一块阳极氧化发黑的吸光板内，所述方棒的出光面设有掩膜板；所述成像系统包括依次设置的第一透镜、光阑、第二透镜、第三透镜、第四透镜和投影成像面板，所述第一透镜和第二透镜均为双凸面正透镜，所述第三透镜为双凹面负透镜，所述第四透镜为新月形负透镜，所述新月形负透镜的凹面朝向所述第三透镜；本发明可进行高精度的成像，实现光刻的效果，分辨率达35线对/毫米。

主权项

1.一种投影式光源装置，其特征在于，包括依次设置的灯珠光源、光线收集系统、均光系统和成像系统；所述光线收集系统包括两个对称设置的的平凸透镜，两个所述平凸透镜的平面镜片朝外，凸面镜片相对设置；所述均光系统包括从光线入射方向依次设置的一块阳极氧化发黑的吸光板、一根截面为矩形的石英长方体方棒、以及掩膜板，所述方棒的入光面镶嵌在所述吸光板内，所述方棒的出光面设有所述掩膜板；所述成像系统包括从光线入射方向依次设置的第一透镜、光阑、第二透镜、第三透镜、第四透镜和投影成像面板，所述第一透镜和第二透镜均为双凸面正透镜，所述第一透镜的入光面朝向所述掩膜板，所述第三透镜为双凹面负透镜，所述第四透镜为新月形负透镜，所述新月形负透镜的凹面朝向所述第三透镜。