[发明专利]一种压电驱动的各向同性多自由度隔振平台

摘要

本发明公开了一种压电驱动的各向同性多自由度隔振平台，包括上平台和下平台,六个支腿，每个支腿均由第一柔性铰链、第二柔性铰链、第一卡紧螺栓、第二卡紧螺栓、压电堆栈作动器、菱形位移放大环、环形安装凸台以及传感器组成，六个支腿支腿都分别由第一安装连接件和第二安装连接件连接上平台和下平台，传感器的安装采用胶接方式，固定在安装环形安装凸台上，第一柔性铰链和第二柔性铰链通过菱形位移放大环连接，压电堆栈作动器的两端通过第一卡紧螺栓和第二卡紧螺栓锁紧，本发明实现隔振平台的大行程、高精度控制。单个支腿控制器的独立解耦设计，简化了控制系统的设计难度，同时控制器的解耦设计提高了系统的容错性能力。

主权项

1.一种压电驱动的各向同性多自由度隔振平台，包括的第一安装连接件(9)第二安装连接件(10)、上平台(12)和下平台(13)，其特征在于：所述上平台(12)的底部固定安装第一安装连接件(9)，下平台(13)的顶部固定安装第二安装连接件(10)，所述第一安装连接件(9)和第二安装连接件(10)通过支腿(11)连接；所述每个支腿与上下平台之间的安装角度不一样，每个支腿的连接件需要根据安装角度单独加工。所述支腿(11)分为第一支腿(14)、第二支腿(15)、第三支腿(16)、第四支腿(17)、第五支腿(18)以及第六支腿(19)，第一支腿(14)、第二支腿(15)、第三支腿(16)、第四支腿(17)、第五支腿(18)以及第六支腿(19)每个支腿都与上下平台之间的安装角度不同，两端分别连接第一安装连接件(9)、第二安装连接件(10)，所述第一支腿(14)、第二支腿(15)、第三支腿(16)、第四支腿(17)、第五支腿(18)以及第六支腿(19)均由第一柔性铰链(1)、第二柔性铰链(2)、第一卡紧螺栓(3)、第二卡紧螺栓(4)、压电堆栈作动器(5)、菱形位移放大环(6)、环形安装凸台(7)以及传感器(8)组成，第一柔性铰链(1)上套有环形安装凸台(7)，第一柔性铰链(1)的侧面设置传感器(8)，第一柔性铰链(1)和第二柔性铰链(2)通过菱形位移放大环(6)连接，菱形位移放大环(6)的中间设置压电堆栈作动器(5)，压电堆栈作动器(5)的两端通过第一卡紧螺栓(3)和第二卡紧螺栓(4)锁紧。