[发明专利]一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811177004.1 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109226768A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 孙志梅;李开旗;刘宾;周健 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;B22F3/10;C22C29/00;C23C14/34 |
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| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法,过渡金属包括Sc,Y,Ti,Cr,Hg,Zn等。本发明中合金靶材的制备方法是：1)将适量合金粉末装入石墨模具，并密封于真空热压炉当中；2)室温下施加70％的目标压强，保压约5分钟后缓慢卸压；3)调节温度至200℃后，施加目标压强，保压约5分钟后缓慢卸压；4)加热升温至目标温度后，再次施加目标压强并保压约5分钟；5)保压结束后，自然降温，且每降低20℃卸载20％目标压强，待冷却至室温即得靶材。本发明所涉及的制备方法具有成本低廉，操作简单，环境友好等特点，制备得到的靶材纯度高，致密度高且元素分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 目标压强 靶材 保压 过渡金属掺杂 碲化锑合金 施加 卸压 真空热压炉 靶材纯度 过渡金属 合金粉末 环境友好 加热升温 石墨模具 元素分布 自然降温 中合金 卸载 装入 密封 冷却 | ||
【主权项】：
1.本发明涉及一种过渡金属掺杂的碲化锑合金靶材的制备方法，其特征在于直接使用合金粉末进行热压成形烧结。
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