[发明专利]一种激光烧蚀触发薄膜开关和方波发生器有效
申请号: | 201811152041.7 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109378240B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 孙楚昱;张国伟;王海洋;赵昕;何小平;谢霖燊;李俊娜 | 申请(专利权)人: | 西北核技术研究所 |
主分类号: | H01H13/704 | 分类号: | H01H13/704;H03K3/02;H03K5/01 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 杨引雪 |
地址: | 710024 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 为了解决现有的用于纳秒级快前沿脉冲功率源的薄膜开关寿命短、导通稳定性和可靠性低的技术问题,本发明提供了一种激光烧蚀触发薄膜开关和方波发生器。其中,激光烧蚀触发薄膜开关包括薄膜开关底板,沿同一轴线依次设置在所述薄膜开关底板上的中空柱状阴极、绝缘薄膜和阳极;阴极一端开口,另一端封闭,且封闭端上沿阴极轴向开设有通光孔;阴极内侧壁上设有内螺纹;还包括通过激光器套筒支撑件固定支撑于薄膜开关底板上的激光器套筒、与激光器套筒一端相接的激光器套筒封盖;激光器套筒另一端与阴极螺纹连接;激光器套筒内设置有激光器;激光器的出光口位置与阴极上的通光孔相对应。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 触发 薄膜开关 方波 发生器 | ||
【主权项】:
1.一种激光烧蚀触发薄膜开关,包括薄膜开关底板,以及沿同一轴线依次设置在所述薄膜开关底板上的阴极(16)、绝缘薄膜(18)和阳极(22);其特征在于:所述阴极(16)为中空柱状结构,一端为开口端,另一端为封闭端;阴极(16)的封闭端上沿阴极(16)的轴向开设有通光孔(17);阴极(16)的内侧壁上设置有内螺纹;还包括通过激光器套筒支撑件(12)固定支撑于所述薄膜开关底板上的激光器套筒(10)、与激光器套筒(10)其中一端相接的激光器套筒封盖(9);所述激光器套筒(10)另一端的外侧壁上,与所述阴极(16)配合处设置有外螺纹,激光器套筒(10)与阴极(16)通过螺纹副连接;激光器套筒(10)内设置有激光器(11);所述激光器(11)的出光口位置与阴极(16)上的通光孔(17)相对应。
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