[发明专利]一种激光烧蚀触发薄膜开关和方波发生器有效
| 申请号： | 201811152041.7 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109378240B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 孙楚昱;张国伟;王海洋;赵昕;何小平;谢霖燊;李俊娜 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | H01H13/704 | 分类号： | H01H13/704;H03K3/02;H03K5/01 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710024 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 触发 薄膜开关 方波 发生器 | ||
1.一种激光烧蚀触发薄膜开关，包括薄膜开关底板，以及沿同一轴线依次设置在所述薄膜开关底板上的阴极(16)、绝缘薄膜(18)和阳极(22)；
其特征在于：
所述阴极(16)为中空柱状结构，一端为开口端，另一端为封闭端；阴极(16)的封闭端上沿阴极(16)的轴向开设有通光孔(17)；阴极(16)的内侧壁上设置有内螺纹；
还包括通过激光器套筒支撑件(12)固定支撑于所述薄膜开关底板上的激光器套筒(10)、与激光器套筒(10)其中一端相接的激光器套筒封盖(9)；
所述激光器套筒(10)另一端的外侧壁上，与所述阴极(16)配合处设置有外螺纹，激光器套筒(10)与阴极(16)通过螺纹副连接；
激光器套筒(10)内设置有激光器(11)；所述激光器(11)的出光口位置与阴极(16)上的通光孔(17)相对应；
激光器(11)出光口处设置有调焦透镜，调焦透镜用于使得绝缘薄膜(18)上的光斑直径小于0.5mm；
阳极(22)外依次套装有阳极同轴绝缘子(21)和阳极接地套筒(20)，三者构成前端尺寸大，后端尺寸小的渐变同轴结构。
2.根据权利要求1所述的激光烧蚀触发薄膜开关，其特征在于：阴极(16)外套装有阴极固定装置(13)，阴极(16)与阴极固定装置(13)间通过铍铜簧片(14)保持紧密电连接；阴极固定装置(13)与阳极接地套筒(20)通过接地连接片(15)联接。
3.根据权利要求2所述的激光烧蚀触发薄膜开关，其特征在于：所述激光器(11)采用波长452nm、功率3W的二极管激光器。
4.根据权利要求3所述的激光烧蚀触发薄膜开关，其特征在于：阴极固定装置(13)、阳极接地套筒(20)、阴极(16)和阳极(22)均采用黄铜制成。
5.根据权利要求4所述的激光烧蚀触发薄膜开关，其特征在于：阳极同轴绝缘子(21)采用尼龙制成。
6.根据权利要求5所述的激光烧蚀触发薄膜开关，其特征在于：绝缘薄膜(18)采用棕色聚酰亚胺薄膜。
7.一种方波发生器，其特征在于：包括权利要求1-6任一所述的激光烧蚀触发薄膜开关。
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