[发明专利]一种电容式柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811137920.2 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109115376A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 张旻;李萌萌;王旭东 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电容式柔性压力传感器及其制备方法，该电容式柔性压力传感器包括聚合物弹性体电极、绝缘层薄膜以及ITO电极；所述聚合物弹性体电极包括导电薄膜、聚合物弹性体和电极衬底，所述聚合物弹性体包括形成在所述电极衬底上的具有微结构凸起阵列的微结构层，所述导电薄膜覆盖在所述微结构层的表面；所述绝缘层薄膜置于所述聚合物弹性体电极和所述ITO电极之间，并通过所述导电薄膜与所述微结构层的微结构凸起的顶部接触。本发明提供了一种灵敏度高、器件稳定性好的电容式柔性压力传感器及其制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物弹性体 电极 柔性压力传感器 电容式 导电薄膜 微结构层 制备 绝缘层薄膜 微结构 衬底 器件稳定性 凸起阵列 灵敏度 凸起 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种电容式柔性压力传感器，其特征在于，包括聚合物弹性体电极、绝缘层薄膜以及ITO电极；所述聚合物弹性体电极包括导电薄膜、聚合物弹性体和电极衬底，所述聚合物弹性体包括形成在所述电极衬底上的具有微结构凸起阵列的微结构层，所述导电薄膜覆盖在所述微结构层的表面；所述绝缘层薄膜置于所述聚合物弹性体电极和所述ITO电极之间，并通过所述导电薄膜与所述微结构层的微结构凸起的顶部接触。
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