[发明专利]基于显微照相矩阵的跨尺度夹杂物快速分析仪器及方法有效
| 申请号： | 201811131502.2 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109470698B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 贾云海;袁良经;陈吉文;杨春;于雷;张翘楚 | 申请（专利权）人： | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 11248 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李彬;张小娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于显微照相矩阵的跨尺度全自动夹杂物快速分析仪器及方法。该分析仪器包括显微照相矩阵系统、高精密三维数控工作台、计算工作群以及控制和数据处理系统；待测样品为大尺寸金属构件，显微照相矩阵系统可上下移动地固定在高精密三维数控工作台的Z轴上，计算工作群通过控制和数据处理系统控制高精密三维数控工作台的位移，逐步移动待测样品的位置，使得显微照相矩阵系统遍历所有待测样品的待测表面，实现对待测样品的全尺度显微照相，进行夹杂物搜索、面积计算、定位、形貌分级放大以及统计分布分析。本发明将显微照相矩阵和高速运算相结合，样品扫描尺寸大、精度高、速度快，显著提高大尺度样品夹杂物分析效率。 | ||
| 搜索关键词： | 显微照相 矩阵 待测样品 矩阵系统 三维数控 高精密 夹杂物 工作台 数据处理系统 快速分析 跨尺度 形貌 夹杂物分析 可上下移动 尺寸金属 分析仪器 高速运算 面积计算 统计分布 样品扫描 大尺度 遍历 分级 尺度 放大 搜索 移动 分析 | ||
【主权项】：
1.一种基于显微照相矩阵的跨尺度夹杂物快速分析仪器，其特征在于：该分析仪器包括显微照相矩阵系统(1)、高精密三维数控工作台(2)、计算工作群以及控制和数据处理系统；待测样品(10)为大尺寸金属构件，其中：/n该高精密三维数控工作台(2)包括在水平X轴和Y轴方向精密移动用于固定待测样品(10)的水平样品台(8)和垂直于X轴Y轴平面的Z轴(9)；/n所述显微照相矩阵系统(1)能够上下移动地固定在高精密三维数控工作台(2)的Z轴(9)上，位于水平样品台(8)上的待测样品(10)的上方；显微照相矩阵系统(1)包括多个阵列布置的显微照相单元；/n每个显微照相单元均包括上下依次布置的显微相机(6)和大视场显微镜(7)；/n所述计算工作群包括一台服务器(3)、网络交换器(4)和多台工作站(5)；所述服务器(3)与高精密三维数控工作台(2)连接，服务器(3)通过网络交换器(4)分别与多台工作站(5)连接，每台工作站(5)均与显微照相矩阵系统(1)中的多个显微照相单元连接；/n计算工作群通过控制和数据处理系统控制高精密三维数控工作台(2)的工作，逐步移动待测样品(10)的位置，使得显微照相矩阵系统(1)遍历所有待测样品(10)的待测表面，并由工作站(5)完成所对应的显微照相单元采集图像的拼接，再由服务器(3)将各工作站(5)的拼接图像拼接成一张完整的待测样品(10)的金相图像，实现对待测样品(10)的全尺度显微照相，进行夹杂物搜索、面积计算、定位、形貌分级放大以及统计分布分析；/n该分析仪器对样品的分析尺度为从毫米级至米级；/n所述分析仪器能够对1000mm×500mm的大尺度金属构件进行夹杂物快速分析，分析时间小于1小时；/n所述分析仪器的夹杂物识别精度为1微米。/n
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