[发明专利]一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811094096.7 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109163837B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵玉龙;张国栋;韦学勇;白冰;王馨晨;张一中;任炜;张蕊;张方 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L5/14 | 分类号： | G01L5/14;G01L1/20 |
| 代理公司： | 61215 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种微尺度柔性复合式超高压力传感器及其制造方法,传感器包括基底,基底上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件及第一电极；康铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第一电极；康铜敏感元件及第一电极的表面上覆盖有绝缘层；绝缘层上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件及第二电极；锰铜敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极；锰铜敏感元件和康铜敏感元件采用上下对齐方式布置，第二电极与第一电极采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件及第二电极的表面上涂覆有保护层；传感器具有敏感元件尺寸小、量程大、精度高、输出信号大、柔性化等特点，适用于多工况下微尺度装药爆轰压力的测量，也可以拓展到其他微尺度轴对称动态高压流场压力的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感元件 第二电极 第一电极 微尺度 康铜 锰铜 绝缘层 超高压力传感器 复合式 输出端 输入端 传感器 基底 溅射 测量 垂直方式布置 动态高压 上下对齐 输出信号 保护层 多工况 横轴线 柔性化 轴对称 爆轰 量程 流场 涂覆 装药 制造 覆盖 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种微尺度柔性复合式超高压力传感器，包括基底(1),其特征在于：基底(1)上通过MEMS工艺溅射有康铜敏感元件(2-2)及第一电极(2-1)；康铜敏感元件(2-2)的输入端和输出端分别连接两个第一电极(2-1)，康铜敏感元件(2-2)和第一电极(2-1)构成康铜层(2)；康铜敏感元件(2-2)及第一电极(2-1)的表面上覆盖有绝缘层(3)；绝缘层(3)上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件(4-2)及第二电极(4-1)；锰铜敏感元件(4-2)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(4-1)，锰铜敏感元件(4-2)和第二电极(4-1)构成锰铜层(4)；锰铜敏感元件(4-2)和康铜敏感元件(2-2)采用上下对齐方式布置，第二电极(4-1)与第一电极(2-1)采用横轴线垂直方式布置，锰铜敏感元件(4-2)及第二电极(4-1)的表面上涂覆有保护层(5)；/n所述的锰铜敏感元件(4-2)和康铜敏感元件(2-2)具有相同的形状和尺寸，康铜敏感元件(2-2)和锰铜敏感元件(4-2)呈圆形，直径均为0.2mm，厚度均为2μm。/n
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