[发明专利]一种基于有机场效应管的光敏传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811091002.0 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN109326724B 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 于军胜;邵炳尧;庄昕明;侯思辉 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L51/46 分类号: H01L51/46;H01L51/42;H01L51/48
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邹敏菲
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于有机场效应晶体管的光敏传感器及其制备方法,该制备方法,包括:对衬底进行清洗和干燥处理;采用金属纳米线,在清洗和干燥处理后的所述衬底的表面制备栅电极;将有机介电材料按比例进行超声配比,然后用配比后的溶液,在所述栅电极上面制备介电层;将有机半导体材料与叶绿素按比例进行超声混合,然后用混合后的溶液,在介电层上制备半导体层;采用金属纳米线,在所述半导体层上制备源电极和漏电极;采用虫胶,在所述源电极和漏电极上面制备封装层。本发明通过采用有机半导体材料与叶绿素的混合材料制备光敏传感器的半导体层,使得制备的光敏传感器相比传统的光敏传感器,具有高响应度和高稳定性的特点。
搜索关键词: 一种 基于 有机 场效应 光敏 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种基于有机场效应晶体管的光敏传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、对衬底(1)进行清洗和干燥处理;S2、采用金属纳米线,在清洗和干燥处理后的所述衬底(1)的表面制备栅电极(2);S3、将有机介电材料按比例进行超声配比,然后用配比后的溶液,在所述栅电极(2)上面制备介电层(3);S4、将有机半导体材料与叶绿素按比例进行超声混合,然后用混合后的溶液,在所述介电层(3)上制备半导体层(4);S5、采用金属纳米线,在所述半导体层(4)上制备源电极(5)和漏电极(6);S6、在所述源电极(5)和漏电极(6)上面制备封装层(7)。
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