[发明专利]图案描绘装置、图案描绘方法及器件制造方法

摘要

一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置。

主权项

1.一种图案描绘装置，一边根据描绘数据对会聚在被照射体上的紫外激光的光束的点光进行强度调制，一边使所述点光和所述被照射体进行相对扫描，由此在所述被照射体上描绘出图案，其特征在于，具备：激光光源装置，其包含产生作为所述紫外激光的光束的来源的种光的光源部、入射所述种光并将其放大的光放大器、及从放大后的所述种光生成所述紫外激光的光束的波长转换光学元件；和描绘用调制装置，其用于对所述点光进行强度调制，根据所述描绘数据来调制从所述光源部产生的所述种光的强度。