[发明专利]图案描绘装置、图案描绘方法及器件制造方法

权利要求书

1.一种图案描绘装置，一边根据描绘数据对会聚在被照射体上的紫外激光的光束的点光进行强度调制，一边使所述点光和所述被照射体进行相对扫描，由此在所述被照射体上描绘出图案，其特征在于，具备：

激光光源装置，其包含产生作为所述紫外激光的光束的来源的种光的光源部、入射所述种光并将其放大的光放大器、及从放大后的所述种光生成所述紫外激光的光束的波长转换光学元件；和

描绘用调制装置，其用于对所述点光进行强度调制，根据所述描绘数据来调制从所述光源部产生的所述种光的强度，

所述激光光源装置的所述光源部包含用于生成脉冲状的第1种光的第1激光元件、和用于生成与所述第1种光相比发光时间长且峰值强度小的脉冲状的第2种光的第2激光元件，

所述描绘用调制装置包含电光学元件，该电光学元件基于所述描绘数据使所述第1种光和所述第2种光中的某一方选择性地向所述光放大器入射。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其特征在于，

所述激光光源装置包含驱动电路，该驱动电路用于脉冲状地产生所述第1种光和所述第2种光，使所述第1激光元件和所述第2激光元件响应于规定频率Fs的时钟信号而进行脉冲振荡，由此使所述紫外激光的光束以所述规定频率Fs进行脉冲振荡。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其特征在于，

在将所述点光在所述被照射体上的实效尺寸设为Ds、将所述点光与所述被照射体的相对扫描速度设为Vs时，将所述时钟信号的规定频率Fs设定成Vs/Ds以上。

4.如权利要求2或3所述的图案描绘装置，其特征在于，具备：

旋转多面镜，其入射来自所述激光光源装置的所述紫外激光的光束，并通过多个反射面分别使所述光束反射而偏转；

远心类的扫描透镜，其入射被偏转的所述光束并使所述光束作为所述点光而会聚到所述被照射体上；以及

描绘单元，其配置在朝向所述旋转多面镜的所述光束的光路上，具有用于在与所述光束的行进方向正交的平面内调整所述光束的位置的移像光学部件，所述描绘单元使所述点光在所述被照射体上沿主扫描方向一维扫描。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其特征在于，具备：

在将从由所述点光的一维扫描而形成在所述被照射体上的描绘线的扫描长度的中央通过、且与所述被照射体的表面垂直地设定的线设为中心轴时，来自所述激光光源装置的所述光束被设定为与所述中心轴同轴地入射到所述描绘单元。

6.如权利要求4所述的图案描绘装置，其特征在于，

包括控制电路，在将与所述时钟信号的所述规定频率Fs的一个周期对应的基准时间设为Td0时，所述控制电路在所述点光沿所述主扫描方向进行一维扫描期间中的规定的定时使所述时钟信号的周期相对于所述基准时间Td0增加或减少比所述基准时间Td0短的时间，由此调整描绘在所述被照射体上的图案的所述主扫描方向的扫描倍率。

7.一种图案描绘方法，一边根据描绘数据对会聚在被照射体上的紫外激光的点光进行强度调制，一边使所述点光和所述被照射体进行相对扫描，由此在所述被照射体上描绘出图案，其特征在于，包含：

转换工序，通过光放大器将作为所述紫外激光的来源的种光放大，并通过波长转换光学元件将放大后的所述种光转换成所述紫外激光的光束；和

调制工序，用于对所述点光进行强度调制，根据所述描绘数据来调制向所述光放大器入射的所述种光的强度，

所述种光包含脉冲状的第1种光、和与所述第1种光相比发光时间长且峰值强度小的脉冲状的第2种光，

所述调制工序中，根据所述描绘数据使所述第1种光和所述第2种光中的某一方选择性地向所述光放大器入射。

8.如权利要求7所述的图案描绘方法，其特征在于，

在将所述第1种光的振荡频率和所述第2种光的振荡频率设为相同的频率Fs、将所述点光在所述被照射体上的实效尺寸设为Ds、将所述点光与所述被照射体的相对扫描速度设为Vs时，将所述频率Fs设定成Fs≥Vs/Ds。