[发明专利]一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器有效
| 申请号： | 201811065920.6 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN108712813B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器，所述可切换匹配网络能够在两个射频偏压频率之间进行选择。该匹配网络特别适用于电感耦合等离子体处理器。所述可切换匹配网络包括：第一匹配电路，其具有连接至第一信号源的第一输入端口和耦合至负载的第一输出端口；第二匹配电路，其具有连接至第二信号源的第二输入端口和耦合至所述负载的第二输出端口；开关装置，其具有第一至第三连接点，所述第一连接点连接至所述第一输入端口，所述第二连接点连接至所述第二输出端口；以及，可变电容器，其连接在电接地端和所述开关装置的所述第三连接点之间。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配网络 可切换 连接点 输出端口 输入端口 处理器 电感耦合等离子 匹配电路 耦合 电感耦合等离子体 可变电容器 第二信号 射频偏压 电接地 | ||
【主权项】：
1.一种可切换匹配网络，其特征在于，其包括：第一匹配电路，其具有连接至第一信号源的第一输入端口和耦合至一等离子体处理器的第一输出端口；第二匹配电路，其具有连接至第二信号源的第二输入端口和耦合至所述等离子体处理器的第二输出端口；开关装置，其具有第一至第三连接点，所述第一连接点连接至所述第一输入端口，所述第二连接点连接至所述第二输出端口；以及，可变电容器，其连接在电接地端和所述开关装置的所述第三连接点之间；所述开关装置可以切换第一、第三连接点之间以及第二、第三连接点之间的通断状态，使得所述可变电容选择性的连接到第一输入端口或第二输出端口；其中所述第一匹配电路和所述第二匹配电路中每一个均包括串联的电容器和电感器。
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