[发明专利]微机电系统压电换能器及制作方法有效
| 申请号： | 201811065171.7 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109244232B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 徐景辉 | 申请（专利权）人： | 徐景辉 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;H10N30/05;H10N30/082 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 518053 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统压电换能器及其制作方法，特别是阵列式压电换能器与制作方法，属于微机电系统领域。该换能器采用阵列式设计，由至少两个阵元组成；阵元之间通过与半导体工艺兼容的微机电系统(MEMS)加工工艺实现晶圆级的电学串联或并联，但至少有一个电学串联；采用半导体MEMS加工工艺可以有效控制电学串、并联产生的寄生电容，从而有效提高灵敏度。本发明通过阵元之间的晶圆级电学串、并联，提高了换能器的灵敏度；与传统的压电陶瓷换能器相比，避免了后续电路串、并联所带来的寄生电容影响；提出晶圆级电学串、并联的阵列式MEMS换能器，可以根据需要串联不同的阵元数量，从而自主定义换能器的灵敏度；换能器还具有信噪比高、成本低、电噪声小、信噪比高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 压电 换能器 制作方法 | ||
【主权项】：
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