[发明专利]一种绝缘子表面涂层溅射制备方法

摘要

本发明属于配电结构防水处理技术领域，尤其涉及一种绝缘子表面涂层溅射制备方法。与传统的填充法涂层的微米级结构相比，传统的微米级结构为蜂巢状，水滴从巢孔上脱离时会受到一定的空气负压作用而粘附力较大；填充法涂层的纳米级突起为纳米粒子微球间靠树脂而粘结堆积在一起，而基于本发明方法制造的涂层的表面为纳米级棒状突起，水珠与表面的真实固液接触面积更小，在水滴运动时受到的阻力更小。

主权项

1.一种绝缘子表面涂层溅射制备方法，其特征在于，步骤一、将绝缘子放入足量的去离子水和无水乙醇中分别超声清洗10min并烘干待用；步骤二、将绝缘子固定在磁控溅射仪并进行保护，通过机械泵和分子泵抽真空到5×10‑3Pa，往工作室中通入工作氩气，通过压强控制仪控制工作室的气压为1Pa；步骤三、打开射频电源预热10min，然后开启电源逐渐增加电压直至起辉，将功率调至120W，预溅射10min，以除去靶材表面的杂质与提高其溅射纯度；步骤四、移除绝缘子的保护结构，匀速旋转绝缘子，对绝缘子表面进行磁控溅射镀膜；步骤五、结束溅射，关闭射频电源，往溅射室中通入氩气使工作室气压恢复为常压，取出绝缘子；步骤六、将磁控溅射后的绝缘子在马弗炉中进行氧化退火，升温速度10℃/min，在400℃下保持30‑50min，然后随炉冷却至室温；步骤七、调制十六烷基三甲氧基硅烷与乙醇的质量比为2：98的混合溶液，以60r/min的转速进行磁力搅拌60min以进行分散水解；将绝缘子放入混合30‑50min，使硅烷分子在氧化锌表面进行自组装，对其进行低表面能改性；步骤八、取出绝缘子，使用乙醇冲洗干净，放入90℃鼓风干燥箱中干燥30‑50min。