[发明专利]一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法

摘要

本发明提供了一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法，首先使用光刻法在硬性基底材料表面制备预定图形，得到图案化模具，然后将高分子材料弹性体和固化剂的混合浆料倾倒在图案化模具表面进行固化，得到微流道模具；然后使用微流道模具覆盖在柔性基底表面，使用多巴胺对柔性基底进行图案化改性，再在改性后的基底表面制备石墨烯敏感层，最后涂刷导电银胶、粘结导线，得到图案化石墨烯柔性应变传感器。本发明提供的制备方法无需对柔性基底进行光刻、不破坏柔性基底本体结构、适应复杂曲面、适用于大面积制造、适合于精细化图案加工，降低了对柔性基底自身材质、形状、表面结构的要求。

主权项

1.一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法，包括以下步骤：(1)使用光刻法在硬性基底材料表面制备预定的微结构浮雕图形，得到图案化模具；(2)将弹性体和固化剂混合，得到混合浆料；(3)在图案化模具表面涂覆防粘剂，形成防粘层，然后将所述混合浆料倾倒在所述防粘层表面进行固化，将固化后的部件剥离，得到微流道模具；(4)将所述微流道模具覆盖在柔性基底表面，形成微流道构件，将所述微流道构件在多巴胺溶液中浸渍，然后将微流道模具揭开，得到图案化改性的柔性基底；(5)将石墨烯‑氧化石墨烯混合分散液涂覆在所述图案化改性的柔性基底表面，石墨烯‑氧化石墨烯富集于图案化改性区域，形成石墨烯‑氧化石墨烯图案化薄膜；(6)对所述石墨烯‑氧化石墨烯图案化薄膜中的氧化石墨烯进行还原处理，形成图案化石墨烯敏感层；(7)在所述图案化石墨烯敏感层两侧涂刷导电银胶并粘结导线，得到图案化石墨烯柔性应变传感器；所述步骤(1)和步骤(2)没有时间顺序的限制。