[发明专利]基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法有效
| 申请号： | 201811048937.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN108827162B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 沈小燕;蓝旭辉;余佳音;禹静;张宝武 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法。本发明中支架一端固定在光学平台上，标准圆锥光束系统放置在其上方，面阵器件布置在标准圆锥光束系统前且处于同一光轴中用于干涉成像，应力加载系统改变应力F的大小，电容传感器探头通过检测电容的变化量，从而根据电路模块得到矩形等截面梁的形变量。用标准圆锥光束系统和电容传感器得到相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本发明具有检测精度高，可同步完成两种方法的测量，适用于高准确度微位移测量系统的线性度比对。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电容 传感器 法布里珀罗 标准 位移 测量 系统 线性 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.基于电容传感器的法布里珀罗标准具微位移测量系统的线性度比对装置和方法，包括F‑P标准具干涉测量系统（5）、面阵器件（6）、 支架（7）、矩形等截面梁（8）、应力加载系统（9）、电容传感器探头（13）和传感器探头固定模块（17）。其特征在于：F‑P标准具干涉测量系统（5）放置在支架（7）上方，面阵器件（6）放置在F‑P标准具干涉测量系统（5）前且与F‑P标准具干涉测量系统（5）处于同一光轴中用于成像，应力加载系统（9）通过对应力F的改变从而改变矩形等截面梁（8）的形变量，电容传感器探头（13）由探头固定模块（17）固定在矩形等截面梁（8）的正上方，用以感受矩形等截面梁（8）的形变量。
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