[发明专利]表面缺陷处理方法和激光固化处理系统在审
| 申请号： | 201811044707.7 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109111123A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 许乔;欧阳升;惠浩浩;李亚国;王度;耿锋;刘志超;金会良;袁志刚;张清华;王健 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 舒畅 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供的表面缺陷处理方法和激光固化处理系统，涉及激光技术领域。其中，所述表面缺陷处理方法包括：提供一待处理的熔石英元件；对所述熔石英元件表面状况进行扫描处理，以获取各缺陷在熔石英元件表面的位置信息；通过二氧化硅溶胶在具有所述缺陷的表面制作形成二氧化硅溶胶‑凝胶膜层，以填合各缺陷；根据所述位置信息对所述二氧化硅溶胶‑凝胶膜层进行激光固化处理。通过上述方法，可以改善现有技术中熔石英元件存在抗激光损伤性能较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 熔石英 表面缺陷处理 二氧化硅溶胶 激光固化 处理系统 凝胶膜层 元件表面 激光技术领域 抗激光损伤 扫描处理 制作 | ||
【主权项】：
1.一种表面缺陷处理方法，其特征在于，包括：提供一待处理的熔石英元件；对所述熔石英元件的表面状况进行扫描处理，以获取各缺陷在熔石英元件表面的位置信息；通过二氧化硅溶胶在具有所述缺陷的表面制作形成二氧化硅溶胶‑凝胶膜层，以填合各缺陷；根据所述位置信息对所述二氧化硅溶胶‑凝胶膜层进行激光固化处理。
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