[发明专利]DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统和方法

摘要

本发明属于激光干涉测距技术，为能够最大程度地提高干涉信号的对比度，同时兼具宽扫频范围和很好的相干性，本发明，DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统和方法，DFB阵列扫频光源产生的扫频激光首先进入分光比为20:80宽带光纤耦合器，分出的20％光进入参考的马赫泽德干涉仪MZI；另外的80％光通过分光比为10:90宽带光纤耦合器，10％进入两干涉臂中的参考臂；另外90％进入测试臂，测试臂采用三端环形器结构，所述扫频激光由三端环形器进入光纤探头后射到待测工件表面，从待测工件表面的反射光被同一光纤探头收集，再由三端环形器进入用于合束的耦合器，与参考光发生干涉。本发明主要应用于激光干涉测距场合。

主权项

1.一种DFB阵列扫频光源光纤频域干涉测距系统，其特征是，DFB阵列扫频光源产生的扫频激光首先进入分光比为20:80宽带光纤耦合器，分出的20％光进入参考的马赫泽德干涉仪MZI，由MZI的光电二极管PD2采集的干涉信号为等波数的参考时钟信号，用于后期主干涉仪的信号重建；另外的80％光通过分光比为10:90宽带光纤耦合器，10％进入两干涉臂中的参考臂，利用带电动位移台的光纤延迟线，用来调节干涉臂的平衡，同时在线匹配两干涉光的光强；另外90％进入测试臂，测试臂采用三端环形器结构，所述扫频激光由三端环形器进入光纤探头后射到待测工件表面，从待测工件表面的反射光被同一光纤探头收集，再由三端环形器进入用于合束的耦合器，与参考光发生干涉；干涉光由铟镓砷InGaAs PIN型光电探测器进行光电转换，经过放大器和滤波器放大并滤波后被ADC模数转换器采集，其中ADC采集的时钟信号是由扫频光源的触发信号时钟产生的，并根据参考MZI干涉仪的PD2采集来的干涉信号作为信号重建的时钟信号。