[发明专利]一种具有交错式微结构的柔性压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201811030934.4 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109489875A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李晖;谢振文;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 深圳青年人专利商标代理有限公司 44350 | 代理人： | 黄桂仕 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于传感器制作和封装技术领域，公开了一种具有交错式微结构的柔性压力传感器及其制造方法。柔性压力传感器包括第一、第二柔性基底，碳纳米管薄膜设置于第一、第二柔性基底之间；第一、第二柔性基底的一面分别设置有多个呈球冠凸起状或呈球带凸起状且错位的第一、第二凸起部，碳纳米管薄膜贴覆于第一柔性基底具有第一凸起部的一面。制造方法用于制造上述柔性压力传感器。本发明所提供的一种具有交错式微结构的柔性压力传感器及其制造方法，采用交错式的半球形内部结构，结合碳纳米管的高导电性，提高了传感器的线性测量范围以及灵敏度，稳定性、精度、准确度和可靠性高，且响应时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性压力传感器 柔性基底 制造 碳纳米管薄膜 交错 凸起部 凸起状 传感器制作 高导电性 碳纳米管 线性测量 准确度 灵敏度 半球形 传感器 交错式 球带 球冠 贴覆 封装 错位 响应 | ||
【主权项】：
1.一种具有交错式微结构的柔性压力传感器，其特征在于，包括第一柔性基底、碳纳米管薄膜和第二柔性基底，所述碳纳米管薄膜设置于所述第一柔性基底和所述第二柔性基底之间，所述碳纳米管薄膜连接有引出电极；所述第一柔性基底的一面设置有第一微结构，所述第一微结构包括多个呈球冠凸起状或呈球带凸起状的第一凸起部，所述碳纳米管薄膜贴覆于所述第一柔性基底具有所述第一微结构的一面，所述第二柔性基底的一面设置有第二微结构，所述第二微结构包括多个呈球冠凸起状或呈球带凸起状的第二凸起部，所述第一凸起部与所述第二凸起部错位设置，且所述第二凸起部与所述碳纳米管薄膜相接触。
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