[发明专利]用于制造显示装置的设备

摘要

本发明公开了用于制造显示装置的设备。本发明的用于制造显示装置的设备包括腔室、掩模组件、源部、磁体部、激光照射部和激光感测部，其中，掩模组件布置在所述腔室内部，源部布置成与所述掩模组件相对并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使沉积物质沉积到显示衬底上，磁体部布置在所述腔室内部并且向所述掩模组件施加电磁力以使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧，激光照射部布置在所述腔室内部并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光，激光感测部布置在所述腔室内部并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，并且所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果来调整施加至所述掩模组件的电磁力。

主权项

1.用于制造显示装置的设备，包括：腔室；掩模组件，所述掩模组件布置在所述腔室内部；源部，所述源部布置成与所述掩模组件相对，并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使所述沉积物质沉积到显示衬底上；磁体部，所述磁体部布置在所述腔室内部，并且通过向所述掩模组件施加电磁力使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧；激光照射部，所述激光照射部布置在所述腔室内部，并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光；以及激光感测器，所述激光感测器布置在所述腔室内部，并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，其中，所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果来调节施加至所述掩模组件的电磁力。