[发明专利]一种光学检测装置和光学检测方法有效
| 申请号： | 201811022876.0 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN109084678B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/22;G01B11/03;G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学检测装置和光学检测方法，光源用于出射探测光；投射器件用于将光源模组出射的探测光投射至待测物的表面，收集待测物的反射光并出射检测信号光；接收单元用于接收检测信号光，并根据检测信号光，获得待测物的图像信息和结构信息；孔径限制组件用于进出光源的出射光路，并在进入光源的出射光路时，对光源发出的探测光的口径进行限制，以阻挡与待测物的法线方向夹角较大的部分光线，从而可以获得待测物的结构信息和图像信息，根据图像信息确定待测物的待测区是否具有特定检测结构及其位置，并根据位置对特定检测结构进行结构检测，而且可以通过孔径限制组件对待测区的特定检测结构如高深宽比结构进行有效检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测装置，其特征在于，包括光源模组、投射单元和接收单元，所述光源模组包括光源和孔径限制组件；所述光源用于出射探测光；所述孔径限制组件用于进出所述光源的出射光路，并在进入所述光源的出射光路时，对所述光源发出的探测光的口径进行限制，以阻挡与待测物的法线方向夹角较大的部分光线；所述投射单元包括至少一个投射器件，所述投射器件用于将所述光源模组出射的探测光投射至所述待测物的表面，收集所述待测物的反射光并出射检测信号光；所述接收单元用于接收所述检测信号光，并根据所述检测信号光，获得所述待测物待测区的图像信息和结构信息。
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