[发明专利]芯片级低成本表面处理方法及一种装置有效
| 申请号： | 201811016862.8 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109244198B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李树琪;唐文婷;王保兴 | 申请（专利权）人： | 宁波天炬光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/22 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片级低成本表面处理方法及一种装置。所述芯片级低成本表面处理方法包括：在器件的光学结构层上覆设有机物层；对所述有机物层进行离子轰击，从而在所述有机物层中形成微米级和/或亚微米级图形；将所述有机物层中的微米级和/或亚微米级图形转移到所述光学结构层表面，获得表面粗化的光学结构层。本发明实施例提供的一种芯片级低成本表面处理方法工艺可控，在成本性价比以及使用应用场合(涵盖目前所有光电器件)上实现了全方位的保障和提升，同时器件完成后，在光的取出以及收取的均匀度上也能够得到相应的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片级 低成本 表面 处理 方法 一种 装置 | ||
【主权项】：
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