[发明专利]多晶硅生产中高沸物裂解工艺有效

专利信息
申请号: 201811011277.9 申请日: 2018-08-31
公开(公告)号: CN108658082B 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 王亚萍;甘居富;彭中;游书华;张聪;罗周;何鹏;李寿琴 申请(专利权)人: 内蒙古通威高纯晶硅有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 014000 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开一种多晶硅生产中高沸物裂解工艺,包括:预处理:去除高沸物中的固体杂质和金属卤化物,得到第一混合物;第一次分离:在50‑150℃下使所述第一混合物分离,得到四氯化硅和氯硅烷低聚物;裂解:所述氯硅烷低聚物在催化剂作用下裂解得到氯硅烷混合物;第二次分离:将所述氯硅烷混合物送回脱高塔,去除未裂解的氯硅烷低聚物,得到单硅氯硅烷和不凝气。本工艺通过除去金属氯化物,可以有效防止金属氯化物与催化剂形成络合物,导致催化剂失活。所述沉降罐下端通入有承插管,所述承插管用于导出沉降后位于上层的低聚物混合物,使低聚物混合物催化裂解反应能更高效的进行。
搜索关键词: 多晶 生产 中高 裂解 工艺
【主权项】:
1.一种多晶硅生产中高沸物裂解工艺,其特征在于,包括:预处理:去除高沸物中的固体杂质和金属卤化物,得到第一混合物;第一次分离:在50‑150℃下使所述第一混合物在脱高塔中分离,得到四氯化硅和氯硅烷低聚物;裂解:所述氯硅烷低聚物在催化剂作用下裂解得到氯硅烷混合物;第二次分离:将所述氯硅烷混合物送回脱高塔,去除未裂解的氯硅烷低聚物,得到单硅氯硅烷和不凝气。
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