[发明专利]一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法有效
| 申请号： | 201811005282.9 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109850882B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 卢维尔;夏洋;赵丽莉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法，其包括：(1)在衬底上生长石墨烯，接下来旋涂一层较薄的光刻胶作为第一层薄膜；(2)在所述第一层薄膜表面再旋涂n层较厚的、有韧性的并且可被选择性溶解的聚合物薄膜作为顶层薄膜，1≤n≤10；(3)采用电化学法将所述多层复合膜与所述石墨烯从所述衬底表面解离下来，使用第一溶剂溶解掉上层较厚的聚合物薄膜；(4)清洗后将较薄的所述第一层薄膜和石墨烯转移到目标衬底，最后使用第二溶剂溶解掉较薄的所述第一层薄膜完成转移。本发明所述方法转移石墨烯质量高缺陷少，转移过程快，稳定性好，并且可以实现大尺寸转移，有望推动石墨烯的大规模应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 辅助 石墨 电化学 转移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法，其包括：(1)在衬底上生长石墨烯，接下来旋涂一层较薄的光刻胶作为第一层薄膜；(2)在所述第一层薄膜表面再旋涂n层较厚的、有韧性的并且可被选择性溶解的聚合物薄膜作为顶层薄膜，1≤n≤10；(3)采用电化学法将所述多层复合膜与所述石墨烯从所述衬底表面解离下来，使用第一溶剂溶解掉上层较厚的聚合物薄膜；(4)清洗后将较薄的所述第一层薄膜和石墨烯转移到目标衬底，最后使用第二溶剂溶解掉较薄的所述第一层薄膜完成转移。
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