[发明专利]反应炉及冷却方法在审
| 申请号： | 201810994895.3 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110872727A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 赵海洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反应炉及冷却方法，该反应炉包括炉腔、设置在炉腔内的石墨坩埚及用于加热石墨坩埚的感应线圈，炉腔包括腔壁，在腔壁中设置有中空空间，感应线圈设置在中空空间中。本发明提供的反应炉，其可以降低设备功耗，从而可以降低工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 反应炉 冷却 方法 | ||
【主权项】：
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