[发明专利]基于自旋泵浦-逆自旋霍尔效应的微波磁场探测器及方法有效

专利信息
申请号: 201810994328.8 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN109164400B 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 张文旭;黄飞;彭斌;张万里 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01R33/02 分类号: G01R33/02
代理公司: 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 代理人: 敖欢;葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供一种基于自旋泵浦‑逆自旋霍尔效应的微波磁场探测器及探测方法,利用磁控溅射镀膜工艺和光刻工艺在3个SiO2基片上分别制备完全相同的n个串联的条状Py/Ta复合双层薄膜,薄膜的长宽比值在200以上,薄膜内的微波感应电流被限制在薄膜的长边方向;3个基片彼此互相垂直,且3个基片的公共顶点与原点重合;对于每个SiO2基片,都施加一个与薄膜长边垂直且从0开始增大的直流磁场,此磁场增大到某值a后,再从0开始增大到a,此过程一直循环,通过测量3个SiO2基片上串联的条状薄膜两端的电压得到空间微波磁场在x、y、z方向上的分量hx、hy、hz,本发明可以一次性测量空间微波磁场矢量,并且通过串联的方式增大逆自旋霍尔电压信号,大大提高了灵敏度。
搜索关键词: 基于 自旋 霍尔 效应 微波 磁场 探测器 方法
【主权项】:
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