[发明专利]微球表面缺陷检测翻转辅助装置有效
申请号: | 201810993315.9 | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109277961B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 李建欣;宗毅;段明亮;柏财勋;王宗伟;高党忠;孟婕 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;G01B21/20 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱沉雁 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置,包括测试吸嘴、第一精密位移台、x方向位移台、y方向位移台、第二精密旋转台、第一连接板、辅助吸嘴和翻转辅助机构,所述翻转辅助机构包括三个位移台,其中两个位移台组合放置在底部位置,控制辅助吸嘴水平方向二维移动,平移台上部垂直放置一个位移台,用于控制辅助吸嘴纵向移动,所述辅助吸嘴固定在翻转辅助机构上方,可吸附微球进行移动,测试吸嘴在微球右侧,用来吸附微球进行测量。本发明可实现微球表面缺陷检测时对微球进行翻转。 | ||
搜索关键词: | 表面 缺陷 检测 翻转 辅助 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置,其特征在于:包括底座(1)、控制电机(2)、第一精密旋转台(3)、第一连接板(4)、翻转辅助机构(5)、辅助吸嘴(6)、y方向位移台(7)、x方向位移台 (10)、第二连接板(11)、第二精密旋转台(12)和测试吸嘴(13);控制电机(2)固定在底座(1)上,第一精密旋转台(3)固定在控制电机(2)上,并与控制电机(2)的输出轴固连,翻转辅助机构(5)固定在第一精密旋转台(3)顶面,第一连接板(4)一端设有圆孔,所述圆孔穿过翻转辅助机构(5)并与第一精密旋转台(3)固连,辅助吸嘴(6)固定在翻转辅助机构(5)上,y方向位移台(7)固定在第一连接板(4)的另一端顶面,x方向位移台 (10)固定在y方向位移台(7)上,第二连接板(11)为L形,第二连接板(11)的水平面固定在x方向位移台 (10)上,竖直面内壁固定有第二精密旋转台(12),测试吸嘴(13)固定在第二精密旋转台(12)上,待测微球(14)设置在测试吸嘴(13)上,且辅助吸嘴(6)位于待测微球(14)的正下方。
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