[发明专利]一种高转换效率的链式湿法黑硅电池片的制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池领域，公开了一种高转换效率的链式湿法黑硅电池片的制备方法，包括：1）选用P型多晶金刚线硅片，用有机碱溶液和水依次进行清洗，烘干；2）在硅片背面和四周镀上SiON：H膜；3）在硅片正面制作黑硅绒面；4）对硅片正面进行扩散，形成PN结；5）用酸溶液去除硅片正面的磷硅玻璃以及腐蚀硅片背面、四周的SiON：H膜，水洗、烘干；6）在黑硅绒面镀减反射薄膜；7）在硅片正面印刷正电极；8）在硅片背面印刷背电极，烧结。本发明方法制得的黑硅电池片的转换效率得到了有效的提升，适用于后续多晶电池片例如黑硅+PERC系列电池、黑硅+MWT系列电池等的技术升级。

主权项

1.一种高转换效率的链式湿法黑硅电池片的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）选用P型多晶金刚线硅片，用有机碱溶液和水依次进行清洗，烘干；2）在硅片背面和四周镀上SiON：H膜；3）在硅片正面制作黑硅绒面；4）对硅片正面进行扩散，在正面形成PN结；5）用酸溶液酸洗去除硅片正面的磷硅玻璃以及腐蚀硅片背面、四周的SiON：H膜，然后水洗、烘干；6）在黑硅绒面镀减反射薄膜，硅片背面不镀减反射薄膜；7）在硅片正面印刷正电极；8）在硅片背面印刷背电极，烧结，制得成品。