[发明专利]一种全光纤高速光学相干层析扫描装置有效
| 申请号： | 201810942618.8 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN110836869B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 魏儒义;王鹏冲;张朋昌;吴银花;胡炳樑;韩意庭;王飞橙;卫翠玉;高晓惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于高速光学相干层析测量领域，具体涉及一种全光纤高速光学相干层析扫描装置，其目的在于解决光学相干层析扫描装置成像速度慢和扫描误差大的问题。该相干层析扫描装置在高频压电驱动器驱动下，压电陶瓷堆带动一个轻质量的中空回射器做一维高频振动，对物体进行纵向高速扫描；两个压电陶瓷弯曲片一端固定，另一端与一个高反射镜固定连接，高反射镜可以随着压电陶瓷弯曲片做高速摆动，两个压电陶瓷弯曲片的摆动方向相互垂直，通过使光束发生偏转可实现对样品不同位置进行横向高速扫描；压电陶瓷堆和两个压电陶瓷弯曲片谐振频率较高，振幅较小，因此对样品实现三维扫描的同时可以充分提高成像速度，减小扫描误差，消除伪像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 高速 光学 相干 层析 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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