[发明专利]一种冷阱及共蒸镀膜装置在审
申请号: | 201810941108.9 | 申请日: | 2018-08-17 |
公开(公告)号: | CN108888983A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 张阳;赵叶军;党志泉 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | B01D8/00 | 分类号: | B01D8/00;C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种冷阱及共蒸镀膜装置,该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中,用以解决现有技术中存在的共蒸元素的过滤效率不高的技术问题。该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中,包括:密闭的壳体;冷却盘管,设置在壳体内,冷却盘管包括进口端和出口端,冷却盘管的进口端与壳体外的冷源供给装置的出口连通,冷却盘管的出口端与冷源供给装置的进口连通。通过在真空泵与共蒸腔室之间加装这种冷阱,能使流经冷却盘管的冷却介质能与流经壳体内的热流体进行热交换,从而能够有效地降低热流体的温度,并能使热流体中的共蒸元素在遇冷后快速沉积在冷却盘管的表面。 | ||
搜索关键词: | 冷却盘管 冷阱 蒸镀膜 热流体 薄膜太阳能电池 供给装置 出口端 进口端 壳体 冷源 连通 热交换 体内 过滤效率 快速沉积 冷却介质 有效地 真空泵 加装 密闭 蒸腔 应用 进口 出口 | ||
【主权项】:
1.一种冷阱,其特征在于,所述冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中,所述冷阱包括:密闭的壳体;冷却盘管,设置在所述壳体内,所述冷却盘管包括进口端和出口端,所述冷却盘管的进口端与所述壳体外的冷源供给装置的出口连通,所述冷却盘管的出口端与所述冷源供给装置的进口连通。
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