[发明专利]透射带电粒子显微镜中的衍射图案检测有效
| 申请号： | 201810934619.8 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109411320B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | B.布依杰斯;M.库吉普尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄涛;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用透射带电粒子显微镜的方法，包括：‑在样品支架上提供样品；‑使用带电粒子射束镜筒产生带电粒子射束并利用所述带电粒子射束辐照样品的至少一部分；‑使用成像系统收集在所述辐照期间穿过样品的带电粒子，并将它们引导到检测器上；‑使用所述检测器记录样品的所述被辐照部分的衍射图案，还包括：‑配置所述检测器以按照粒子计数模式进行操作；‑在一系列连续的检测帧中迭代地记录所述衍射图案，并对所述帧求和；‑在每个帧的记录期间，使用扫描组件引起所述衍射图案和所述检测器的相对运动，以便使所述图案中的每个局部强度最大值在所述检测器上描出轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 带电 粒子 显微镜 中的 衍射 图案 检测 | ||
【主权项】：
1.一种使用透射带电粒子显微镜的方法，包括：‑ 在样品支架上提供样品；‑ 使用带电粒子射束镜筒产生带电粒子射束并利用所述带电粒子射束辐照样品的至少一部分；‑ 使用成像系统收集在所述辐照期间穿过样品的带电粒子，并将它们引导到检测器上；‑ 使用所述检测器记录样品的所述被辐照部分的衍射图案，其特征在于：‑ 配置所述检测器以按照粒子计数模式进行操作；‑ 在一系列连续的检测帧中迭代地记录所述衍射图案，并对所述帧求和；‑ 在每个帧的记录期间，使用扫描组件引起所述衍射图案和所述检测器的相对运动，以便使所述图案中的每个局部强度最大值在所述检测器上描出轨迹。
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