[发明专利]气体置换用干燥房

摘要

本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。

主权项

1.一种干燥房，其特征在于，设置使来自干燥空气供给装置的干燥空气循环的收纳于干燥室的内部的气密容器，该气密容器中连接有低露点气体供给装置及非活性气体精制装置，所述气密容器中经由去除低露点气体的异物的过滤器供给有低露点气体，所述干燥房具备：排气通路，与所述气密容器连接而将所述容器内的气体向所述干燥室的外部排出；及管路，使所述干燥室内部的气体再循环到所述干燥空气供给装置，所述低露点气体供给装置与非活性气体精制装置互相独立，从而能够个别调整除湿性能及除氧性能。