[发明专利]自驱动压力应变传感器及其制备方法、电子皮肤有效
| 申请号： | 201810874695.4 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110854263B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 孙其君;孟艳芳;曹正镐 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;H10N30/01;H10N30/03 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 101400 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自驱动压力应变传感器及其制备方法。其中，自驱动压力应变传感器包括：晶体管层，包括衬底，以及衬底之上形成的共层的栅极、源极和漏极，源极和漏极间通过沟道连接，栅极通过离子凝胶层与沟道连接，所述晶体管层还包括压电纳米发电机，所述压电纳米发电机的其中一个电极为所述栅极；覆盖层，包括石墨烯层，该覆盖层配置为覆盖于所述晶体管层上且使所述石墨烯层覆盖所述沟道。本发明的应变传感器局域系统性，压力传感与应变传感集成，且均可以实时监测，节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 压力 应变 传感器 及其 制备 方法 电子 皮肤 | ||
【主权项】：
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