[发明专利]一种微小电路内部气氛检测校准器有效
| 申请号： | 201810869773.1 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN109061061B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 谭骁洪;罗俊;邢宗锋;杨迁;张锋;邱盛;李晓红;邓永芳;吴兆希;林震;朱朝轩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 王海军 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微小电路内部气氛检测校准器，属于电子产品可靠性与环境试验技术领域。本发明包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。使用本发明中的校准器可以对小于0.01cc的微小腔体直接进行校准，极大地提高了微小腔体(＜0.01cc)电路内部气氛检测试验中的校准精度，从而提高了微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 电路 内部 气氛 检测 校准 | ||
【主权项】：
1.一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。
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