[发明专利]多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置

摘要

本发明公开了一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置，其中方法包括：产生第一、第二两低相干光；在第一光路上放置楔形棱镜组，由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成；在所述第二光路上放置光学平板和被测多镜面透镜组；调整好被测透镜组至适当位置后，沿楔角的棱面连续移动第二楔形棱镜，使得被测透镜组各镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的楔角的另一棱面的反射光，在CCD相机接收面上产成干涉条纹，根据所述第二楔形棱镜移动过程中，产生相邻两次干涉条纹的位置读数，计算得到被测多镜面透镜组中心轴上相邻镜面间距。本发明，实现了对多镜面透镜组的镜面间距的非接触无损伤测量，反应灵敏，测量精度高。

主权项

1.一种多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量装置，其特征在于，包括：/n第一、第二低相干光，由分束立方棱镜将准直后的平行的低相干光分束而成，第一、第二低相干光分别由第一、第二平面反射镜反射沿原路返回，在CCD相机的接收面上会合重叠产生干涉条纹，第一、第二低相干光的透射和反射光路形成第一光路和第二光路；/n第一、第二挡光板，用于打开或遮挡住所述第一、第二平面反射镜；/n楔形棱镜组，由楔角相同的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜组成，所述第一楔形棱镜和第二楔形棱镜互补放置，内部相对着的两个棱面是各自楔角相邻的棱面，所述第一楔形棱镜固定在所述第一光路中，其楔角相邻的朝外的棱面与所述分束立方棱镜相对，光束垂直入射所述楔角相邻的朝外的棱面；所述第二楔形棱镜可沿所述的楔形棱镜组内部相对着的平行的棱面内且垂直于棱的方向移动，用所述第一挡光板遮住所述第一平面反射镜后，使所述第一低相干光穿过所述第一楔形棱镜后，再入射至所述第二楔形棱镜内且仅被自身的楔角相邻的朝外的棱面反射，并沿原路返回到所述CCD相机的接收面上；/n光学平行板，设置在所述第二光路中，通过所述第二挡光板遮住所述第二平面反射镜，使所述第二低相干光垂直穿过所述光学平行板后，仅被被测多镜面透镜组中各镜面反射，中心轴上光线沿原路返回到所述CCD相机的接收面上；/n调整好被测多镜面透镜组至适当位置后，通过沿所述的内部相对着的平行的棱面内且垂直于棱的方向连续移动所述第二楔形棱镜，使得被测多镜面透镜组的不同镜面的反射光依次与所述第二楔形棱镜的自身的楔角相邻的朝外的棱面反射光，在CCD相机的接收面上先后产生干涉条纹，根据所述第二楔形棱镜的移动距离，计算得到被测多镜面透镜组中各对相邻镜面的间距。/n