[发明专利]基于OCR图像处理技术的半导体生产远程监控系统在审

专利信息
申请号: 201810868613.5 申请日: 2018-08-02
公开(公告)号: CN109002021A 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 张志胜;王睿;马继山;戴敏 申请(专利权)人: 东南大学;江苏南高智能装备创新中心有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 张婧
地址: 210000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于OCR图像处理技术的半导体生产远程监控系统,包括用于控制机台设备生产的客户端系统、用于用户管理和操作的中央控制服务器,所述客户端系统包括OCR图像处理模块、远程监控模块、配方配置模块、数据采集模块、报警管理模块和日志处理模块,该客户端系统通过USB接口与机台设备相交互,读取机台设备参数并发送指令控制机台设备动作;所述中央控制服务器通过基于TCP/IP协议的Socket编程接口与客户端系统相连接控制客户端系统的操作。本发明解决半导体企业中不支持SECS/GEM通讯接口的机台设备实现远程监控自动化生产问题,有利于提高了半导体封装的全自动化生产水平,降低生产成本。
搜索关键词: 客户端系统 机台设备 中央控制服务器 图像处理技术 远程监控系统 半导体生产 读取 报警管理模块 全自动化生产 日志处理模块 数据采集模块 图像处理模块 远程监控模块 半导体封装 自动化生产 编程接口 发送指令 连接控制 配方配置 通讯接口 用户管理 远程监控 半导体 生产
【主权项】:
1.一种基于OCR图像处理技术的半导体生产远程监控系统,其特征在于,包括用于控制机台设备生产的客户端系统(1)、用于用户管理和操作的中央控制服务器(2),所述客户端系统(1)包括OCR图像处理模块(3)、远程监控模块(4)、配方配置模块(5)、数据采集模块(6)、报警管理模块(7)和日志处理模块(8),该客户端系统(1)通过USB接口与机台设备(9)相交互,读取机台设备(9)参数并发送指令控制机台设备(9)动作;所述中央控制服务器(2)通过基于TCP/IP协议的Socket编程接口与客户端系统(1)相连接控制客户端系统(1)的操作。
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