[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201810866747.3 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109404307B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 渡边耕太 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D29/08;F04D29/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能防止气体从背压侧经由紧固泵转子的螺钉与泵转子的间隙向泵吸气口侧泄漏的涡轮分子泵。本发明的涡轮分子泵具备：主轴(4b)，由电机旋转驱动；泵转子(4a)；多个螺钉(50)，从泵吸气口侧贯穿泵转子(4a)，将泵转子(4a)紧固于主轴(4b)的泵吸气口侧端部；以及O环密封件(52)，将泵转子(4a)与主轴(4b)的紧固面的间隙密封。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：主轴，由电机旋转驱动；泵转子；多个螺钉，从泵吸气口侧贯穿所述泵转子，将所述泵转子紧固于所述主轴的泵吸气口侧端部；以及密封构件，将所述泵转子与所述主轴的紧固面的间隙或所述螺钉与所述泵转子的间隙密封。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810866747.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
