[发明专利]测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201810865529.8 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109186747B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 郝瑞娜 | 申请（专利权）人： | 歌尔光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H13/00 | 分类号： | G01H13/00 |
| 代理公司： | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人： | 刘戈 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市潍坊高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种测试系统及一种测试方法，该测试系统包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器。所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动。所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器。所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。本申请方案可以测试获得待测MEMS的扫描振镜慢轴的共振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测试系统，其特征在于，包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器；所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。
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