[发明专利]测试系统及测试方法

说明书

本申请实施例提供一种测试系统及一种测试方法，该测试系统包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器。所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动。所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器。所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。本申请方案可以测试获得待测MEMS的扫描振镜慢轴的共振频率。

技术领域

本申请实施例涉及虚拟现实技术领域，尤其涉一种测试系统及一种测试方法。

背景技术

MEMS(微机电系统，Microelectromechanical Systems)中的扫描振镜是激光扫描投影设备中的关键器件。激光器发射的激光光束需要通过扫描振镜的快速震动将激光光束反射到光幕上的不同位置处，从而实现待扫描图像快速的点扫描最终呈现该待扫描图像。

扫描振镜可以分为快轴扫描和慢轴扫描。其中，快轴扫描利用扫描振镜快轴的共振实现快速扫描，慢轴扫描是利用电磁力或者静电力等外力驱动扫描振镜慢轴实现匀速扫描。扫描振镜慢轴的驱动信号频率需要远离扫描振镜慢轴的共振频率，因为当扫描振镜慢轴的驱动信号包含等于或接近扫描振镜慢轴的共振频率时会产生共振效应，使扫描振镜慢轴的无法实现匀速扫描，从而影响待投影图像的成像质量。为了避免扫描振镜慢轴的驱动信号内包含扫描振镜慢轴的共振频率，可以在扫描振镜慢轴的驱动电路中增加滤波电路以滤除驱动信号中的共振频率。但由于不同的扫描振镜具有不同的扫描振镜慢轴共振频率，因此在生产激光扫描投影设备时需要预先获得扫描振镜慢轴的共振频率，以实现对激光扫描投影设备中电路设计。

发明内容

本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，用以通过测试获得待测MEMS中扫描振镜慢轴的共振频率。

本申请提供了一种测试系统，包括：处理器、分别与所述处理器及待测MEMS连接的信号发生器和数据采集器；

所述信号发生器基于信号生成指令发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述待测MEMS的扫描振镜慢轴偏转一定角度，并在所述脉冲信号消失后以共振频率做阻尼振动；

所述数据采集器基于信号采集指令采集所述扫描振镜慢轴做所述阻尼振动时的振动信号，并将所述振动信号发送至所述处理器；

所述处理器用于发送所述信号生成指令至所述信号发生器；发送所述信号采集指令至所述数据采集器；基于所述数据采集器采集的振动信号确定所述扫描振镜慢轴的共振频率。

优选地，所述待测MEMS包括与所述扫描振镜慢轴连接的线圈及用于检测所述扫描振镜慢轴角位移的传感组件；

其中，所述信号发生器与所述待测MEMS的线圈连接用于发送脉冲信号至所述待测MEMS，以使所述线圈基于所述脉冲信号发生扭转并触发与所述线圈相连的扫描振镜慢轴偏转一定角度；

所述数据采集器与所述传感组件连接，用于采集所述传感组件检测所述扫描振镜慢轴做阻尼振动时角位移随时间变化而生成的振动信号，并将所述振动信号传输至所述处理器。

优选地，还包括与所述处理器连接的电源模块；所述处理器用于发送电源控制指令至所述电源模块；

所述电源模块与所述传感组件连接，用于根据所述电源控制指令为所述传感组件提供偏置电源。

优选地，所述传感组件包括第一可变电阻、第二电阻、第三电阻及第四电阻；

其中，所述第一可变电阻和第三电阻的电阻值相等，所述第二电阻和所述第四电阻的电阻值相等；