[发明专利]一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备在审
| 申请号： | 201810861337.X | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN108816963A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 马跃;方晓东;朱能伟;梁勖;游利兵 | 申请（专利权）人： | 中山普宏光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510100 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及紫外光和紫外激光清洗技术领域，为一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备，包括紫外激光光源、反射镜、光路整形系统、紫外灯光源、光学系统、待清洗物件和工作台。本发明通过将紫外光和紫外激光两种光清洗方式进行有效结合，达到更为理想的光清洗效果，具有无研磨、非接触、热效应小和适用于多种材质和污染物的清洗等特点；紫外波长的光源可以有效清洗其他波长无法清洗的特殊材料杂质、污染等；可以根据清洗对象的特征、通过双光源置换调整清洗光斑的面积、能量等参数，实现高效、节能、高质量的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 紫外光 紫外激光 双光源 清洗设备 热效应 紫外激光光源 紫外灯光源 光斑 材料杂质 光学系统 清洗技术 清洗效果 有效结合 整形系统 紫外波长 研磨 反射镜 非接触 工作台 波长 物件 光路 光源 污染物 置换 节能 污染 | ||
【主权项】：
1.一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备，包括紫外激光光源(1)、反射镜(2)、紫外灯光源(4)、和工作台(7)，其特征在于：所述工作台(7)的上方设有紫外激光光源(1)和紫外灯光源(4)，所述紫外激光光源(1)的一侧设有反射镜(2)。
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