[发明专利]一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备在审

专利信息
申请号: 201810861337.X 申请日: 2018-08-01
公开(公告)号: CN108816963A 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 马跃;方晓东;朱能伟;梁勖;游利兵 申请(专利权)人: 中山普宏光电科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510100 广东省中山市火*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 清洗 紫外光 紫外激光 双光源 清洗设备 热效应 紫外激光光源 紫外灯光源 光斑 材料杂质 光学系统 清洗技术 清洗效果 有效结合 整形系统 紫外波长 研磨 反射镜 非接触 工作台 波长 物件 光路 光源 污染物 置换 节能 污染
【说明书】:

发明涉及紫外光和紫外激光清洗技术领域,为一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备,包括紫外激光光源、反射镜、光路整形系统、紫外灯光源、光学系统、待清洗物件和工作台。本发明通过将紫外光和紫外激光两种光清洗方式进行有效结合,达到更为理想的光清洗效果,具有无研磨、非接触、热效应小和适用于多种材质和污染物的清洗等特点;紫外波长的光源可以有效清洗其他波长无法清洗的特殊材料杂质、污染等;可以根据清洗对象的特征、通过双光源置换调整清洗光斑的面积、能量等参数,实现高效、节能、高质量的清洗。

技术领域

本发明涉及紫外光和紫外激光清洗技术领域,具体为一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备。

背景技术

光清洗是基于光与物质相互作用效应的一种新型高效的环保清洗技术,光清洗具有无研磨、非接触、热效应小和适用于多种材质的物体等清洗特点,被认为是可靠、有效和环保的清洗技术。紫外光由于其独特的波长特性,对于一些特殊物质的清洗有其他波段的光清洗所不可替代的效果。由于大多数有机物对紫外光具有较强的吸收能力,并在吸收紫外光的能量后分解或再合成为可挥发的气体脱离被清洗物表面,实现清洁目的。

而激光清洗是基于激光的高性能光谱特性、高能量密度、高准直特性等的具有其独特的优势,可以大大提高清洗的效率。激光辐照待清洗物体表面至少可以产生三个方面的作用:1)热膨胀效应,即利用基底与表面污染物对某一波长激光能量吸收系数的差别,使基底物质与表面污物吸收能量产生热膨胀,从而克服基底对污染物的吸附力而脱落;2)分子的光分解或相变,即在瞬间使污垢分子或使人为涂上的辅助液膜汽化、分解、蒸发或爆沸,使表面污垢松散并随此作用脱离基底表面;3)激光脉冲的冲击振动效应,利用高频率的脉冲激光辐照待清洗表面,使光束转变为声波产生共振使污垢层或凝结物振动碎裂。也正是因为激光的高能量密度等特性,及瞬间的爆发力,有可能对一些非常珍贵的文件不造成可挽回破坏。

针对清洗物的成分、数量、形态,被污染程度等的不同,对光的能量密度,光斑大小、形状等参数的要求差异极大。然而,现在基于紫外光清洗的设备很多,基于紫外激光清洗的设备也有应用,这两种设备都只是采用紫外光或紫外激光其中一种方式达到清洗目的,并不能完全解决复杂的现实情况,清洗效果、效率并不很理想,缺少一种能够将两种清洗方式进行有效结合的设备,鉴于此,我们提出一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下

技术方案:

一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备,包括紫外激光光源、反射镜、紫外灯光源、和工作台,所述工作台的上方设有紫外激光光源和紫外灯光源,所述紫外激光光源的一侧设有反射镜。

作为本发明优选的,所述紫外激光光源为准分子激光器、固体紫外激光器或紫外光纤激光器中的一种,且紫外激光光源通过支撑架固定安装于工作台的上方。

作为本发明优选的,紫外激光光源通过所述反射镜将输出的紫外激光束反射到工作台上。

作为本发明优选的,所述紫外灯光源为紫外灯,且紫外灯光源通过支撑架固定安装于工作台的上方。

作为本发明优选的,所述紫外光和紫外激光双光源清洗设备还包括一光路整形系统,所述光路整形系统设置在反射镜的下方,由激光扩束模块、激光聚焦模块或其他光学变换功能的光学模块组成。

激光束通过所述反射镜反射入所述光路整形系统,按照清洗所需的光斑要求改变紫外激光束的性状,然后通过所述路整形系统照射到工作台上。

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