[发明专利]一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置在审
| 申请号： | 201810859240.5 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108842137A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 刘光斗;舒逸;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置，包括传输机构和平移机构，传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆，传动杆的两端分别安装在两块安装板上，在真空室外的传动杆外套有波纹管，传动杆一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对，两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接，在真空室内的传动杆上装有摩擦轮，相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布，平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置，平移马达通过同步带与丝杠连接，丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了同一真空室环境下对多个基片架进行往返传输，缩短了真空设备的长度，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传动杆 同步带轮 安装板 真空镀膜机 传输机构 传送装置 平移马达 室内基片 丝杠螺母 摩擦轮 同步带 真空室 平移导向装置 交错排布 两侧侧板 平移机构 生产效率 丝杠连接 真空设备 波纹管 基片架 连接杆 丝杠 同侧 马达 室外 穿过 往返 传输 室内 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置，其特征在于：包括传输机构和平移机构，所述传输机构包括多根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，传动杆的两端分别安装在两块安装板上，在真空室侧板与安装板之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别与真空室侧板以及安装板密闭连接，在传动杆其中一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对，在两块安装板上各安装有一马达，马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接，在真空室内的传动杆上装有两个或两个以上的摩擦轮，相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布，相隔的两根传动杆上的摩擦轮对应在同一直线上；所述平移机构包括安装在真空室底板上的平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置，所述平移马达通过同步带与丝杠连接，丝杠螺母通过连接杆与所述传输机构中的一块安装板连接，所述平移导向装置包括与真空室底板连接的直线滑轨以及固定住安装板上与直线滑轨配合的滑块。
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