[发明专利]一种荧光式刻蚀机温度测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201810855963.8 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108645535A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 耿开胜;方城 | 申请（专利权）人： | 南京五石金传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 刘松 |
| 地址： | 210042 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种荧光式刻蚀机温度测量装置及测量方法，属于温度检测技术领域，包括解调单元、传输光缆、荧光式传感头以及刻蚀机，刻蚀机内安装有静电卡盘、晶圆托盘和刻蚀机台基板，传输光缆的一端设有可调行程接头，可调行程接头包括接头安装件、封盖件以及限位螺母，接头安装件通过螺纹安装在刻蚀机台基板上，并通过限位螺母拧紧，荧光式传感头的两端分别设有感温荧光片和传感安装件，荧光式传感头安装在静电卡盘上预留的安装孔内。本发明采用传感头安装于静电卡盘上，传输光缆通过行程可调接头安装于刻蚀机台基板上并与静电卡盘上的传感头对接的方式进行内部晶圆托盘的温度测量，可有效解决晶圆蚀刻过程中温度的稳定监测。 | ||
| 搜索关键词： | 传感头 荧光 静电卡盘 刻蚀机 传输光缆 接头安装 刻蚀机台 基板 温度测量装置 晶圆托盘 可调行程 限位螺母 测量 温度检测技术 蚀刻 解调单元 螺纹安装 温度测量 稳定监测 行程可调 有效解决 安装件 安装孔 封盖件 荧光片 预留的 传感 感温 晶圆 拧紧 | ||
【主权项】：
1.一种荧光式刻蚀机温度测量装置，其特征在于：包括解调单元(3)、传输光缆(2)、荧光式传感头(1)以及与所述传输光缆(2)相连的刻蚀机，所述刻蚀机内安装有静电卡盘(5)、晶圆托盘(4)和刻蚀机台基板(6)，所述传输光缆(2)的一端设有可调行程接头(22)，所述可调行程接头(22)包括接头安装件(221)、与所述接头安装件(221)一端螺纹连接的封盖件(224)以及设置在所述接头安装件(221)另一端的限位螺母(225)，所述接头安装件(221)通过螺纹安装在所述刻蚀机台基板(6)上，并通过所述限位螺母(225)拧紧，所述荧光式传感头(1)的两端分别设有感温荧光片(12)和传感安装件(15)，所述荧光式传感头(1)安装在所述静电卡盘(5)上预留的安装孔内，所述感温荧光片(12)与所述晶圆托盘(4)相连，所述传感安装件(15)把所述荧光式传感头(1)顶紧在所述静电卡盘(5)预留的安装孔内。
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