[发明专利]一种输出空心光束的激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 201810855766.6 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN108666867B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 韩峰;张祥伟;吴玲玲;陶禹;郭荣礼;刘宝元;陈靖;聂亮 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/32 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710021 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种输出空心光束的激光器及其制作方法，该激光器包括由下至上依次布设的半导体衬底、缓冲层、N型分布式布拉格反射镜层、有源区、第一高铝层、电流引导层、第二高铝层和P型分布式布拉格反射镜层，所述第一高铝层的圆周边缘设置有第一氧化限制层，所述第二高铝层的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层和P面电极；该方法包括以下步骤：一、半导体激光器芯片的生长；二、氧化限制层的制作；三、P面电极制作；四、刻蚀孔的形成；五、N面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小，使得电流载流子汇集在有源区的圆周边缘，实现空心光束的输出，不要安装其他的光学器件，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输出 空心 光束 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种输出空心光束的激光器，其特征在于：包括由下至上依次布设的半导体衬底(9)、缓冲层(11)、N型分布式布拉格反射镜层(8)、有源区(7)、第一高铝层(2‑1)、电流引导层(5)、第二高铝层(2‑2)和P型分布式布拉格反射镜层(1)，所述第一高铝层(2‑1)的圆周边缘设置有第一氧化限制层(6)，所述第二高铝层(2‑2)的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层(3)和P面电极(4)，所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的上表面设置有刻蚀孔(12)，所述半导体衬底(9)底面圆周边缘设置有N面电极(10)，所述刻蚀孔(12)的深度小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度，所述P面电极(4)和N面电极(10)的横截面均为环形，所述刻蚀孔(12)的孔径小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的直径。
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